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大族激光:目前接近式光刻机已投入市场 步进式光刻机已启动用户优化

来源:界面新闻


(相关资料图)

大族激光8月3日在互动平台称,公司自主研发的光刻机主要用于分立器件的部分加工环节,目前,接近式光刻机已投入市场,步进式光刻机已启动用户优化。

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